Untersuchung von Metallmembranen mittels hochauflösender Synchrotron-CT und Synchrotrondiffraktion
VAT ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Entwicklung von Hochvakuumlösungen, die für die Herstellung von Halbleitern, Displays und digitalen Technologien unverzichtbar sind.
Im Rahmen der kontinuierlichen Optimierung von Produktleistung und Fertigungsqualität wollte VAT ein tieferes Verständnis der geometrischen Abweichungen und Eigenspannungen gewinnen, die beim Stanzen von Metallmembranen entstehen. Eine detaillierte Charakterisierung dieser Merkmale war erforderlich, um die Prozessoptimierung zu unterstützen und die langfristige Zuverlässigkeit der Bauteile sicherzustellen.
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Die angewandte Materialanalytik von ANAXAM mittels hochauflösender Synchrotron-CT und Synchrotrondiffraktion wurde zur Untersuchung der gestanzten Membranen eingesetzt. Die Synchrotron-CT ermöglichte die präzise Vermessung und Analyse geometrischer Abweichungen und lieferte detaillierte Einblicke in die Form der Membranen nach dem Umformprozess. Ergänzende Messungen mittels Synchrotrondiffraktion wurden eingesetzt, um die während des Stanzprozesses entstandenen Eigenspannungen quantitativ zu bestimmen.
Zusammen lieferten diese fortschrittlichen Charakterisierungsmethoden wertvolle Erkenntnisse über die strukturellen und spannungsbezogenen Eigenschaften der Membranen und bildeten damit eine wertvolle Grundlage für weiterführende Untersuchungen zu Fertigungsprozessen und zur Zuverlässigkeit der Bauteile.
Die fortschrittlichen Analysemethoden von ANAXAM ermöglichen die Charakterisierung der Geometrie und der Eigenspannungen in gestanzten Membranen und tragen damit zu einem besseren Prozessverständnis und zur weiteren Optimierung bei.”
Tobias Waßmer, Team Coordinator Engineering,
VAT Group
